書籍『シリコン結晶技術―成長・加工・欠陥制御・評価―』出版

書籍『シリコン結晶技術―成長・加工・欠陥制御・評価―』(発行:日本学術振興会第145委員会 技術の伝承プロジェクト編集委員会)が出版されました。干川特任教授は第2章3節「CZ法」を執筆しました。


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