『半導体加工装置の開発史 －半導体の微細化と製造のシステム化への挑戦－』出版

『半導体加工装置の開発史　－半導体の微細化と製造のシステム化への挑戦－』（発行：サイバー出版センター）が出版されました。干川特任教授は第2章6節「結晶育成装置の開発と育成技術」の執筆を共同担当しました。