『半導体加工装置の開発史 -半導体の微細化と製造のシステム化への挑戦-』出版

『半導体加工装置の開発史 -半導体の微細化と製造のシステム化への挑戦-』(発行:サイバー出版センター)が出版されました。干川特任教授は第2章6節「結晶育成装置の開発と育成技術」の執筆を共同担当しました。


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